3m fc-77电子氟化液半导体冷却液
3m氟化液fc-77是一种热稳定,全氟液体主要作为工业的和传导液。由于fc-77的化学惰性,所以可以用于单相或者二相的冷却液,用于超级计算机系统和的敏感电子元器件。因为其非常高的绝缘性,其可以用于高压变压器和高功率电子元器件的冷却。在半导体行业,fc-77主要用于蚀刻设备、离子注入设备,化学气相沉积(cvd)的恒温冷却液。由于fc-77的倾点非常低,所以可以用于冷热冲击试验及其他各种测试。
物理化学性质fc-77
平均分子量 416
一个大气压下沸点(℃) 97
倾点(℃) -110
calculated critical pressure(帕斯卡) 1.58×106
calculated critical temperature(k) 495
蒸汽压(帕斯卡) 5.62×103
蒸发潜热(焦耳/克) 89
液体密度(kg/m3) 1780
运动粘度(centistokes) 0.72
粘度(centipoise) 1.3
液体比热(焦耳/kg*℃) 1100
导热率(w/m*℃) 0.063
热胀系数(1/℃) 0.00138
表面张力(dynes/cm) 13
折射率 1.28
溶水性(ppm) 13
水溶性(ppm) 5
臭氧破坏潜质 0 0
介电强度(0.246cm距离) 40kv
介电常数 1.9
电阻率(ohm cm) 1.9×1015
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